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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.10
- 수록면
- 111 - 111 (1page)
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Sensors that reproduce the complex characteristics of cutaneous receptors in the skin have important potential in the context of artificial systems for controlled interactions with the physical environment. Multimodal responses with high sensitivity and wide dynamic range are essential for many such applications. This report introduces a simple, three-dimensional type of microelectromechanical sensor that incorporates monocrystalline silic ... 전체 초록 보기
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