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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이수정 (서울시립대학교) 한인섭 (서울시립대학교)
저널정보
대한환경공학회 대한환경공학회지 대한환경공학회지 제44권 제6호
발행연도
2022.6
수록면
189 - 194 (6page)

이용수

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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목적 : 본 연구는 반도체 생산공정에서 발생하는 불산폐수에 대하여 불소침전 및 UF, RO 막여과 공정을 적용하여 처리하고, 그 처리수에 대하여 공정 내 재이용 가능성 여부를 판단하고자 하였다.
방법 : Ca(OH)₂와 PAC를 이용하여 2단 불소침전을 선행하고, UF, RO 막여과를 통하여 콜로이드 입자 및 기타 금속이온 등을 제거하여 각 수요처별 재이용 수질기준 만족여부를 판단하였다.
결과 및 토의 : 1차, 2차 침전을 통해 약 93%의 F- 제거되었으며 동시에 대부분의 암모니아 및 인산염이 제거되었다. UF 운전을 통해 약 95%의 입자성 물질을 제거하였으며, RO 운전을 통해 최종적으로 재이용처 수질 기준을 만족하였다.
결론 : 본 연구를 통하여 반도체 생산공정에서 발생하는 불소폐수를 기존의 복잡한 처리방식을 거치지 않고 침전 및 막여과방식을 이용하여 재이용할 수 있음을 확인하였으며 향후 이 처리공정을 통하여 공정 내 재이용수 확보가 가능한 것으로 평가할 수 있었다.

목차

1. 서론
2. 재료 및 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (11)

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