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이건희 (한양대학교) 심이석 (한양대학교) 황종진 (에스케이하이닉스) 정성묵 (에스케이하이닉스) 문승재 (한양대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2020년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2020.11
수록면
478 - 481 (4page)

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The study was conducted to analyze the correlation between surface contamination and transmittance of quartz used in the Rapid Thermal Processing process. The quartz was divided into nine zones and a total of 399 points were passed through the 2.2 μm laser beam to obtain transmittance data. Low transmittance was obtained from the outside of the quartz if surface contamination was low and from the center of the quartz if surface contamination was high.
#Rapid Thermal Processing(RTP)(급속 열처리) #쿼츠 #표면 오염도 #투과율

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. 기준 분석 및 비교 결과
4. 요약
References

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