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장양 (한양대학교) 심효준 (한양대학교) 황종진 (한양대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2022.11
수록면
512 - 514 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2023

파장이 다른 레이저를 이용한 반도체 공정용 쿼츠 투과율 측정 및 비교
장양 ,  심효준 ,  황종진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2023.05 학술대회자료

2022

파장대가 다른 레이저를 사용하여 투과율 오염도 측정 및 비교 실험
장양 ,  심효준 ,  황종진 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.11 학술대회자료

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#Transmissivity(투과율) #Contamination measurement(오염도 측정) #Rapid thermal process(급속열처리)

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