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한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제28권 제6호
발행연도
2017.12
수록면
356 - 360 (5page)

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ITO는 높은 전기 전도도와 가시광선, 근적외선 영역에서 투명성을 가진다. LCD, OLED 등을 포함한 광학에 적용되는 부품들의 제조에 투명전극으로 ITO가 사용되고 있다. 가시광선 영역에서의 투명성과 높은 전도도 때문에 다양한 전기, 디스플레이 센서의 전극으로 이용되었다. 한 가지 사안은 기판의 특성에 충격없이 ITO, 금속 필름같은 특정한 영역의 층을 제거하는 부분이다. 레이저를 사용한 유리 위의 ITO 제거는 기존 방법에 비해 친환경적이다. 본 연구는 펨토초 레이저와 나노초 레이저를 사용하여ITO를 제거하는 비교분석이다.
#나노초 레이저 #유리 #임계치 #투명전극 #펨토초 레이저 #Femtosecond laser #Glass #ITO #Nanosecond laser #Threshold

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조성학 / 2010 / 펨토초 레이저 응용 정밀 가공 / 한국정밀공학회지 27(6):17~23 dbpia

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