반도체 클린룸 전용 외기조화기의 연간 에너지 사용량 분석 및 개선 방안 연구

정우현; 송두삼

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정우현 (성균관대학교) 송두삼 (성균관대학교)

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 하계학술발표대회 논문집

발행연도: 2022.6

수록면: 202 - 205 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2023

반도체 클린룸 연간 에너지 절감을 위한 외조기 구성의 제안 및 효과 분석

정우현 , 송두삼 설비공학논문집 2023.04 학술저널

2022

TRNSYS를 이용한 반도체 클린룸 전용 외조기의 연간 에너지 사용량 분석

정우현 , 송두삼 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.11 학술대회자료

반도체 클린룸 전용 외기조화기의 연간 에너지 사용량 분석 및 개선 방안 연구

정우현 , 송두삼 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.06 학술대회자료

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본 연구는 반도체 클린룸 전용 외기조화기(외조기)의 연간 에너지 사용량 분석 및 Case Study를 통한 에너지 절감 가능성을 검토 하였다. Base Case는 대형 클린룸에 많이 사용하고 있는 증기가습과 단열가습이 혼합된 조건의 외조기, Case1은 증기가습을 없애고 단열가습 100% 조건으로 설계한 외조기, Case2는 증기가습을 없애고, 단열가습을 2단으로 적용하고 가열코일에 공급하는 열원을 증기열원이 아닌 냉동시스템에서 발생하는 냉각수 폐열을 사용하는 조건으로 설계된 외조기이다. 분석결과, Case1의 경우 Base Case보다 에너지 사용량이 약 11% 가량 감소하였으며, Case2의 경우는 Base Case 보다 약 22% 감소하는 결과를 보였다. 반도체 클린룸의 에너지 소비의 상당부분을 차지하는 외조기를 단열가습과 냉각수 폐열 활용하는 구성을 통해 많은 에너지 절감이 가능함을 확인하였다.

#Clean Room(클린룸) #Outdoor Air-conditioner (외기조화기) #Energy Consumption(에너지 사용량) #Steam Humidification(증기가습) #Adiabatic Humidification(단열가습) #heat recovery chilled water (냉각수 폐열)

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논문수 3 이용수 694

송두삼

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주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 TOP 5% 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 10%

논문수 520 이용수 76,889

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