산소 플라즈마 처리를 통한 CNTs 표면 특성에 따른 Pt 증착

정헌준; 구준모; 심준형

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정헌준 (고려대학교) 구준모 (고려대학교) 심준형 (고려대학교)

저널정보: 한국자동차공학회 한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회 2022년 한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

발행연도: 2022.11

수록면: 2,443 - 2,443 (1page)

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#원자층 증착법 (atomic layer deposition) #산소 플라즈마(oxygen plasma) #백금 촉매(platinum catalysts)

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