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The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
Enhanced Performance and Stability of Perovskite Solar Cells by Atomic Layer Deposited Electron Transport Buffer Layer
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Comparison of Electron Transporting Layer Deposition Method for Commercialization of Perovskite Solar Cells
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
ALD 공정 조건에 따른 전자 수송층 SnOx 박막의 특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
ALD를 활용한 SnO₂를 ETL층에 적용한 페로브스카이트 태양전지
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
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