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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
최효민 (단국대학교) 인경필 ((주)세라컴) 윤종원 (단국대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제34권 제3호
발행연도
2024.6
수록면
98 - 102 (5page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2024.34.3.098

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본 연구에서는 μm 및 nm 크기를 갖는 상용 AlN 분말을 XRD 분석을 통해 선별 후, 유도가열로를 활용하여 상이한 온도에서 소결하여 최적화된 소결 온도 및 물성 특성을 조사하였다. 소결 온도는 1,500, 1,700 그리고 1,900°C N₂ 분위기에서 진행되었으며, 소결된 AlN 펠렛은 SEM, XRD, Raman 분석을 이용하여 최적화된 소결 온도 조건을 확립하였다. 또한 Impedance 분석을 진행하여 소결 조제 없이 제작된 AlN 펠렛의 전기적 특성을 확인하였다.

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