SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구

인경필 ,  강승민

한국결정성장학회지

2018 .01

직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2019 .01

PVT(Physical Vapor Transport) 법으로 AlN 결정 성장에서 결정립의 성장 거동에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2016 .01

AlN 단결정 성장에 대한 반복 성장성에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2018 .01

PVT법을 이용한 (011)면으로 성장된 AlN 단결정 성장에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2015 .01

PVT 법으로 성장된 AlN 단결정의 열처리 공정에 대한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2017 .01

나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성

손호기 ,  전대우 ,  김진원 외 7명

전기전자재료학회논문지

2015 .01

PVT법에 의한 AlN 단결정 성장에서 Hot-Zone 의존성

인경필 ,  강승민

한국결정성장학회지

2016 .01

Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes

김호경

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2020 .01

Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2024 .08

펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과

정준기 ,  하태권

소성·가공

2020 .02

투과전자현미경과 전자후방산란회절을 이용한 AlN의 미세구조 분석

주영준 ,  박청호 ,  정주진 외 4명

한국결정성장학회지

2015 .01

고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장

배숭근 ,  전인준 ,  양민 외 5명

한국결정성장학회지

2017 .01

Dependence of Sputtering Gas Pressure on the Crystal Structure of AlN Films

M. J. Ko ,  S. K. Oh ,  S. S. Pa 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

2H-Silicon Carbide Epitaxial Growth on c-Plane Sapphire Substrate Using an AlN Buffer Layer and Effects of Surface Pre-Treatments

Tien-Tung Luong ,  Binh Tinh T ,  an 외 9명

Electronic Materials Letters

2015 .01

6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성

박정현 ,  김경화 ,  전인준 외 5명

한국결정성장학회지

2020 .01

열처리에 따른 AlN 단결정의 결정성에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2017 .06

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구

인경필 ,  강승민

한국결정성장학회지

2024 .04

Effect of Atomic Layer Deposited AlN Layer on Pt/4H-SiC Schottky Diodes

김호경 ,  김남도 ,  안상철 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .08

Ni/AlN/4H-SiC 구조로 제작된 소자의 후열처리 효과

민성지 ,  구상모

전기전자학회논문지

2020 .06