구조화된 표면을 가진 패드를 적용한 세정공정에서의 세정 효율 향상을 위한 연구

정호경 ,  박영욱 ,  이태경 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

CMP 후 세정에서 기능수의 효과

남유나 ,  Pengzhan Liu ,  김응철 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .11

세정공정에서 브러쉬 기울기 검출을 위한 진동 신호에 관한 연구

김도연 ,  김형재 ,  이태경

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

Post-CMP에서 PVA 브러쉬의 구조적 특성과 세정효율의 상관관계

신소민 ,  김동근 ,  김산하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .04

CMP 공정 후 PCB세정에 관한 연구

이찬희 ,  김재민 ,  김동균 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2015 .04

나노여과막공정에서의 염세정 및 삼투역세 세정효율 비교평가

이현수 ,  김창민 ,  장암

대한환경공학회 학술발표논문집

2020 .11

CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성

이현섭 ,  손준규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

구조화된 표면을 가진 패드의 특성이 세정 효율에 미치는 영향에 관 한 연구

정호경 ,  김도연 ,  조한철 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

계면활성제를 이용한 유류 오염 토양 세정 적용성 평가

조강희 ,  김민성 ,  김태선 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

2021 .11

Post-CMP의 다공성 브러쉬의 입자 제거 메커니즘과 고효율 세정을 위한 기공 스케일 미세화

신소민 ,  김동근 ,  김산하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

버프 CMP 세정 공정에서 기능수의 적용과 온도의 영향

남유나 ,  류펑잔 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .04

CMP의 화학 기계적 균형

정해도

기계저널

2016 .07

레이저 세정에 의한 대면적 디퓨저의 세정과 표면거칠기 개선

윤태림 ,  안성준

한국산학기술학회 논문지

2025 .03

SC벽체의 충돌하중에 대한 해석적 평가

이경구 ,  신진원 ,  이계성 외 2명

한국강구조학회 학술대회 발표집

2018 .05

아민 옥사이드 양쪽성 계면활성제 첨가가 리포좀 특성에 미치는 영향에 관한 연구

모다희 ,  이수민 ,  이주연 외 2명

공업화학

2016 .01

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

인공지능 알고리즘 신뢰성 확보를 위한 SC42 기반 데이터 표준 분석

임대영 ,  서민경 ,  유수현

대한전자공학회 학술대회

2022 .06

Air Bubble을 이용한 필터 세정효과에 대한 연구

신활주 ,  정형호

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2016 .06

무기오염에 따른 화학세정(CIP)시 세정약품이 막여과 성능에 미치는 영향

김병석 ,  박민수 ,  강기훈

대한환경공학회 학술발표논문집

2015 .10