LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작

하용민 ,  김태성 ,  김충기

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

LPCVD 및 PECVD 시스템

이중환

전자공학회잡지

1983 .10

LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )

윤형섭 ,  이진희 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1992 .07

LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )

김상호 ,  전치훈 ,  장원익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 균일도 분석

강승환 ,  김병훈 ,  공병환 외 2명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2016 .04

LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰

장원익 ,  유형준

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .12

대면적 실리콘 웨이퍼 LPCVD를 위한 고출력 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)의 최적 시스템 연구

노영수 ,  김윤석 ,  박승호

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구

金容商 ,  崔權永 ,  金榮浩 외 1명

전기학회논문지

1994 .12

두께 균일도 향상을 위한 LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 분포 분석

강승환 ,  김병훈 ,  공병환 외 2명

한국가시화정보학회지

2016 .08

초음속 노즐을 이용한 LPCVD 챔버 내부 유동 분석

지윤영 ,  강승환 ,  손동기 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Analysis of Thermal Flow Distribution for LPCVD Process Using CFD

Seung Ho Lee ,  Seung Hwan Kang ,  Dong Ho Shin 외 2명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2014 .10

저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )

박승희 ,  정주용 ,  홍찬희 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .06