Hydrogen Effects on Heteroepitaxial Growth of Ge Films on Si ( 111 ) Surfaces by Solid Phase Epitaxy

H. Ikeda ,  A. Muto ,  M. Okada 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

Lateral Solid Phase Epitaxy of Amorphous SixGe1-x Films on Sio2 / Si Structures with Seed Openings

Jeong Hee Oh ,  Chul Ju Kim ,  Hi 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Formation and Properties of Mg-Cu-(Si, Ge) Amorphous Alloys

Kim ,  Sung-Gyoo ,  Pa 외 2명

한국주조공학회지 (주조)

1997 .01

PAE에 의한 GaAs / Ge / Si구조를 의한 Si기판위의 Ge 결정성장 ( Ge crystal growth on Si substrate for GaAs / Ge / Si structure by Plasma Assisted Epitaxy )

김성수 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

$SiO_2$위에 MBE(Moleculat Beam Epitaxy)로 증착한 비정질 ${Si_{1-x}}{Ge_x)$박막의 결정화거동

황장원 ,  황장원 ,  김진원 외 3명

한국재료학회지

1994 .01

GaAs/Ge/Si 구조를 위하여 PAE법을 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Ge Crystal Growth on Si Substrate for GaAs/Ge/Si Structure by Plasma-Asisted Epitaxy )

박상준 ,  박명기 ,  최시영

전자공학회논문지

1989 .11

Prevention of degradation in poly $Si_{1-x}Ge_x$/high K structure by controlling Ge content in poly $Si_{1-x}Ge_x$ films

Ko ,  D.H. ,  Kang 외 13명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Amorphous Si의 제작과 특성

성영권 ,  이병득 ,  민병무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화

임정욱 ,  강상원 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Fe-P-C-B-(AI-Ge)계 비정질합금의 열적 안정성과 등온결정화 거동

전우용 ,  국진선 ,  배인성 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

고상 성장법을 이용한 실리콘 태양전지 에미터 형성 연구

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 7명

Current Photovoltaic Research

2015 .09

Solid Phase Epitaxy 방법으로 성장시킨 $Mn_4Si_7$ , ${\beta}-FeSi_2$ 박막의 전, 자기적 특성

유상수 ,  서상원 ,  임영언 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Role of a Surfactant in Ge / Si Growth

Chan Wuk Oh ,  Eun Ja Kim ,  Young Hee Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

비정질 As-Se-S-Ge계 박막의 광특성에 관한 연구 ( A Study on the Optical Properties of Amorphous As-Se-S-Ge system Thin Film )

김상덕 ,  윤중현 ,  이재규 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1993 .01

The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films

Yoon-Ho Song ,  Seung-Youl Kang ,  Kyoung Ik Cho 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

1997 .02

$SiO_2$위에 증착된 $Si_{1-X}Ge_X$합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구

김홍승 ,  이정용 ,  이승창 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구

윤선진 ,  이승창

대한전자공학회 학술대회

1994 .01