전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정을 이용한 패턴 제작에 관한 연구

오세규 ,  김동환 ,  김승재

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

High Precision Dose Correction for Proximity Correction in Electron Beam lithography on a Sub O.2mm Device

양현조 ,  최용규 ,  허훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

High-Speed Convolution System for Real-Time Proximity Effect Correction

Susumu Oogi ,  Takiji Ishimu ,  a 외 13명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography

오용호 ,  이재철 ,  임성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Correction

Jin Kyu Choi ,  Yong Woo Kim ,  Joo Hwan Koh 외 2명

Macromolecular Research

2008 .06

Proximity Effect Correction by Pattern Modified Stencil Mask in Large Field Projection Electron-Beam Lithography

Hideo Kobinata ,  Hi ,  oshi Yamashita 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Characterization of Proximity Correction in 0.1mm Regime X-Ray Lithography

M. Yi ,  E. Seo ,  Y. Seo 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Proximity에서 유도된 회전기계의 이상 진동

구재량 ,  황재현 ,  김두영 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2003 .05

Process design selection using proximity score measurement

Be ,  na ,  do N. Yahya 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2009 .05

Modeling in multi-resolution and its applications

Sungchan Kim ,  Kunwoo Lee ,  Taesik Hong 외 1명

한국CDE학회 국제학술발표 논문집

2005 .08

Laser Process Proximity Correction for Improvement of Critical Dimension Linearity on a Photomask

Jong Rak Pa ,  k ,  Hyun Su Kim 외 5명

[ETRI] ETRI Journal

2005 .04

Systematic Elicitation of Proximity for Context Management

Chang Suk Kim ,  Sang-Yong Lee ,  Dong Cheul Son

INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS

2006 .06

Monte-Carlo Based Optical Proximity Correction for the Half-Tone Phase Shift Mask

Yong Ho Oh ,  Jai Cheol Lee ,  Ssung Woo Lim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Proximity Connection in Two-Dimensional Signal Transmission

Naoshi Yamahi ,  a ,  Yastoshi Makino 외 4명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Application of Stochastic Proximity Embedding to Distance Geometry Problems

Hi ,  oyuki Kashima ,  Shinji Doi 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Characteristics of the Eigenvalue Sensitivities to the Change of Element Correction Factors for Beams

Gun-Myung Lee ,  Young-Hyo Pa ,  k

Journal of Mechanical Science and Technology

2004 .06

Initial fuzzy quasi-proximities

Yong Chan Kim ,  Jin Won Pa ,  k

한국지능시스템학회 논문지

2000 .04

Proximity Effect on the Magnetoresistance of Superconductor/Ferromagnet Structures

Hwang ,  T.J. ,  Kim 외 1명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2006 .01

에너지 변환을 이용한 근접센서에의 적용

이용제 ,  이교성 ,  김도훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11