전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정을 이용한 패턴 제작에 관한 연구

오세규 ,  김동환 ,  김승재

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

High Precision Dose Correction for Proximity Correction in Electron Beam lithography on a Sub O.2mm Device

양현조 ,  최용규 ,  허훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Review on Microstencil Lithography Technologies

최진호 ,  최혜진 ,  김규만

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .11

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

A New Approach of E-Beam Proximity Effect Correction for High-Resolution Applications

Michal Simecek ,  Anja Rosenbusch ,  Tsuneaki Ohta 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Characterization of Proximity Correction in 0.1mm Regime X-Ray Lithography

M. Yi ,  E. Seo ,  Y. Seo 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Simulation of Electron Trajectory in the Cell-Projection Lithography Optical System

K. Yamaguchi ,  M. Kote ,  a

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

전자-빔 Lithography 근접효과에 대한 노출강도 분포의 최적화법 ( Optimization of EID Function for Proximity Effect in Electron Beam Lithography )

손상희 ,  곽계달

전자공학회지

1985 .09

Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography

Bo Kyung Yoon ,  Won Seok Hwang ,  Youn Jung Pa 외 5명

Macromolecular Research

2005 .10

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography

오용호 ,  이재철 ,  임성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Development of Laser Process and System for Stencil Manufacturing

Jae-Hoon Lee ,  Jeong Suh ,  Dong-Sig Shin 외 2명

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2003 .01