플라즈마 Silane 환원 반응에 의한 텅스텐 박막의 증착 ( Tungsten Thin Films Deposited by the Plasma Silane Reduction Process )

홍종성 ,  김용태 ,  민석기 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .02

TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )

이청 ,  이시우 ,  이건홍

전자공학회논문지-A

1992 .04

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

초 미세소자에서 선택 화학기상증착법에 의한 텅스텐박막의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Tungsten Plug on contact Holes in ULSI by Selective Chemical Vapor Deposition )

황성보 ,  이종근 ,  김남수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

수정된 화학증착방법의 모델링과 실헙적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD 회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조

박종복 ,  김창재 ,  박상혁 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .08

수정된 화학증착방법의 모델링과 실험적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐 박막의 특성연구 ( Properties of Tungsten Films Grown on GaAs by PECVD )

홍종성 ,  김용태 ,  박승철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

SiH₄를 이용한 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향

박재현 ,  이정중 ,  금동화

한국표면공학회지

1993 .02

의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석

장동근 ,  김규형 ,  박철우

한국방사선학회 논문지

2018 .01

이온 빔 접속에 의한 W 박막증착

김호정 ,  구정회 ,  김정태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성

정순원 ,  조민재 ,  김광호

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07