TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )

이청; 이시우; 이건홍

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이청 이시우 이건홍

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제29권 제4호

발행연도: 1992.4

수록면: 319 - 327 (9page)

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