도핑한 산화막의 확산 특성 ( Diffusion Characteristics of Doped Oxides )

심종인 ,  이종덕

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

도핑한 산화막의 확산 특성

심종인 ,  이종덕

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

재산화된 질화 산화막의 전하 포획 특성 연구 ( A Study on the Charge Trapping Properties of ONO ( Oxide Nitride Oxide ) Dielectric Film )

이종순 ,  윤석범 ,  박광균 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

질화처리의 기초와 질화계처리

이준연

열처리공학회지

2008 .01

CVD 이용한 Doping 특성 평가

오동해 ,  안황기 ,  김기형 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

플라즈마 이온질화 공정온도에 따른 스테인리스강 질화층의 표면 특성

임경민 ,  김혜민 ,  이승효 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Wet 게이트 산화막과 Nitride 산화막 소자의 특성에 관한 연구

이용희 ,  최영규 ,  류기한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

기억 소자 응용을 위한 재산화된 산화 질화막의 I-V 특성 ( I-V Characteristics of the Reoxided Nitrided Oxides for the Application of Memory Devices )

손문회 ,  양광선 ,  박훈수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

기억 소자 응용을 위한 재산화된 산화 질화막의 C-V 특성 ( C-V Characteristics of the Reoxided Nitrided Oxides for the Application of Memory Devices )

양광선 ,  박훈수 ,  김봉열 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향

이정희 ,  이종현 ,  손병기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Technical trend of nitriding Process and Its main applications

문경일 ,  박현준 ,  신대영 외 1명

유공압건설기계학회 학술대회논문집

2012 .06

열처리 전후의 질화막에 대한 습식산화의 효과

윤병문 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 ( A Study on Ion Shower Doping in Si Thin Film )

유순성 ,  전정목 ,  이경하 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .05

이온질화에 있어 확산층 및 합성층의 생성속도 및 질소의 활성화 에너지 ( The Formation rate and Activation energy of Compound layer and diffusion layer in Ion-Nitriding )

유봉환 ,  조규식

대한기계학회 춘추학술대회

1984 .01

이온질화에 있어 확산층 및 합성층의 생성속도 및 질소의 활성화 에너지 ( The Formation Rate and Activation Energy of Diffusion Layer and Compound Layer in Ion - Nitriding )

성환태 ,  유봉환 ,  조규식

대한기계학회 논문집

1984 .09

재산화 질화 산화막의 전하 생성과 항복에 대한 시간 의존성

이정석 ,  이용재

한국정보통신학회논문지

1998 .09

질화실리콘막을 사용한 표면보호층 구조에 관한 연구 ( Passivation Layer Structures with a Silicon Nitride Film )

이종무

전자공학회지

1985 .11

고온 확산공정에 따른 산화막의 전기적 특성

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

플라즈마 질화 기술과 그 응용분야에 대한 소개

문경일 ,  변철웅

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2010 .11