건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술

김권식 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

CH₄/H₂를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

반도체 소자 제조 기술 동향

성홍석

전자공학회지

2015 .01

초고집적 기억소자의 패키지 전망

이재진 ,  김정덕

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

고집적 SRAM용 TFT 소자 및 기술

노승정 ,  손광식 ,  이왕주 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

초고집적 반도체 소자의 배선재료 기술과 경향

고철기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

노호섭 ,  박연현 ,  이성현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

실리카 식각공정 기술동향

박상호 ,  성희경 ,  최태구

[ETRI] 전자통신동향분석

1999 .02

C₂C1F₅-O₂혼합가스를 사용한 포토레지스트의 건식식각 특성

최영규 ,  이진희 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

건식식각장치에서 임피던스 측정과 비등방성 식각에 대한 연구

김종식 ,  김흥락 ,  강봉구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

저유전 SiO2 에어로겔 박막의 건식식각 특성연구

왕석주 ,  박형호

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

LED 소자의 응용 및 기술 동향

신영철

한국통신학회 기타 간행물

2009 .12

고집적 메모리의 테스트 기술

안영창

전자공학회지

1998 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01