지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.4
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 ICP 식각 특성
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
-
ETCH CHARACTERISTICS OF FERROELECTRIC SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ THIN FILMS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성
전기학회논문지 C
2001 .05
-
SF₆/Ar 가스 플라즈마에 의한 SrBi₂Ta₂O₉ 박막의 식각 메커니즘 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
-
Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
새로운 열처리법을 통한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 저온 성장
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
-
Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
-
유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
-
비휘발성 메모리용 SrBi2Ta2O9 강유전체 박막의 제조 및 특성연구 ( Preparation and Characterization of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Thin Films for Nonvolatile Memory )
전자공학회논문지-D
1998 .03
-
산소 분압 열처리 조건이 $SrBi_2Ta_2O_9/$ 박막의 강유전특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
PREPARATION AND PROPERTIES OF $SrBi_2Ta_2_9$ FERROELECTRIC THIN FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막과 Pt 하부전극과의 결정학적 방위 관계에 대한 고찰
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
CF₄/Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
-
플라즈마 원자층증착법에 의해 제조된 강유전체 SrBi2Ta2O9박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 $SrBi_{2}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
MOD법으로 제조한 $SrBi_{2x}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 열처리 공정에 따른 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
E-ICP에 의한 산화막 식각특성
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-013310380