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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.5
- 수록면
- 775 - 780 (6page)
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With the development of micro-technology, the demand for micro actuator is increasing. But, it is difficult
to achieve high resolution and wide bandwidth with the conventional contact systems. So, the contact-free
systems which are suspended or levitated systems were proposed. These systems can be applied to high
precision stages and alignment apparatuses. This paper describes a magnetically suspended system with four
degrees of freedom which are composed of three rotations (roll, pitch, yaw), and one translation (z). The
operating principle and the structure of the system are similar to variable reluctance type electromachines. The
force analysis is studied using magnetic circuit and virtual work principle, and the equations that describe the
dynamics of the system are presented. The multivariable PID controller is adapted to the system and the
experiment is executed.
to achieve high resolution and wide bandwidth with the conventional contact systems. So, the contact-free
systems which are suspended or levitated systems were proposed. These systems can be applied to high
precision stages and alignment apparatuses. This paper describes a magnetically suspended system with four
degrees of freedom which are composed of three rotations (roll, pitch, yaw), and one translation (z). The
operating principle and the structure of the system are similar to variable reluctance type electromachines. The
force analysis is studied using magnetic circuit and virtual work principle, and the equations that describe the
dynamics of the system are presented. The multivariable PID controller is adapted to the system and the
experiment is executed.
목차
Abstract
1. 서론
2. 구조 및 작동원리
3. 힘해석
4. 운동방정식 및 제어기 설계
5. 실험
6. 결론
후기
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