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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2002년 춘계학술대회논문집
발행연도
2002.5
수록면
1,114 - 1,118 (5page)

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To perform the Polymer MEMS, makig thin electrode and patterning of electrode that makes an active area of polymer are necessary. Because these operations are handled by investigator, there is no accuracy is needed. But actuators that are made by polymer MEMS is more smaller and need more accuracy, precise patterning and making thin electrode skills are necessary.
So in this paper, the research that deposit the nano-sized electrode particle using inkjet print method for makig thin electrode and patterning of electrode

목차

Abstract

1. 서론

2. 실험 목적 및 원리

3. 실험 내용

4. 결론

후기

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