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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 1,021 - 1,024 (4page)
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In this work, we fabricated various 2D metallic and polymeric nanopatterns with the feature resolution of
sub-micrometer scale by using the method of microcontact printing ( CP) based on soft lithography. Silicon
masters for the micromolding were made by e-beam lithography. Composite poly(dimethylsiloxane) (PDMS)
molds were composed of a thin, hard layer supported by soft PDMS layer. Finally, monodisperse metal or
polymer particles could be obtained in the prepared pattern for the application of electronic devices.
sub-micrometer scale by using the method of microcontact printing ( CP) based on soft lithography. Silicon
masters for the micromolding were made by e-beam lithography. Composite poly(dimethylsiloxane) (PDMS)
molds were composed of a thin, hard layer supported by soft PDMS layer. Finally, monodisperse metal or
polymer particles could be obtained in the prepared pattern for the application of electronic devices.
목차
Abstract
1. 서론
2. 연구 내용 및 실험방법
3. 결과
4. 결론
감사의글
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