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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
121 - 124 (4page)

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We have developed a high-resolution alignment microcontact printing device based on transferring a pattern from a PDMS stamp to a metal coated substrate by using self-assembled monolayers. The PDMS stamp was mounted on stamp chuck with rigid backplane. The metal coated substrate was brought at a gap of about 12㎜ from the PDMS stamp. Stamp chuck was controlled step of 100㎚ by a PZT actuator and LVDT sensor. When stamp chuck was fed, working gap has smaller and part of PDMS stamp makes contact with substrate at a low force close to the 0.1N, effecting the printing. As a result of manufacturing microcontact printing device, the defect-free pattern of sub-micron size could be fabricated from PDMS stamp. Also, microcontact printing device overcomes all the disadvantages of conventional printing techniques and prevents transformation of the submicronfeatures in the polymer stamp. And, the pattern was printed without deform by the delicate printing process, which is specially invented for microcontact printing process.
#microcontact printing device(미세접촉프린팅 장치) #soft stamping device(소프트 스탬핑 장치) #Softlithography(소프트리소그래피) #PDMS stamp(탄성중합체 스탬프) #micropattem(미세패턴)

목차

Abstract
1. 서론
2. 소프트 스탬핑 장치 설계
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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