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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.11
- 수록면
- 1,921 - 1,925 (5page)
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Nanometer-sized structures are being applied to many fields including micro/nano electronics,
optoelectronics, quantum computing, biosensors, etc. Micro contact printing is one of the most promising
methods for manufacturing the nanometer-sized structures. The crucial element for the micro contact printing
is the nano-resolution printing technique using polymeric stamps. In this study, a multi-scale analysis scheme
for simulating the micro contact printing process is proposed and some useful analysis results are presented.
Using the slip-link model [1], the dependency of viscoelasticity on molecular weight of polymer stamp is
predicted. Deformation behaviors of polymeric stamps are analyzed using finite element method based upon
the predicted viscoelastic properties.
optoelectronics, quantum computing, biosensors, etc. Micro contact printing is one of the most promising
methods for manufacturing the nanometer-sized structures. The crucial element for the micro contact printing
is the nano-resolution printing technique using polymeric stamps. In this study, a multi-scale analysis scheme
for simulating the micro contact printing process is proposed and some useful analysis results are presented.
Using the slip-link model [1], the dependency of viscoelasticity on molecular weight of polymer stamp is
predicted. Deformation behaviors of polymeric stamps are analyzed using finite element method based upon
the predicted viscoelastic properties.
목차
Abstract
1.서론
2. 미세접촉인쇄기법
3. 시뮬레이션모델 및 다중스케일해석
4. 해석결과
5. 결 론
후기
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