RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

평판형 유도결합플라즈마를 이용한 RF 스퍼터 식각반응로 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  염근영

Applied Science and Convergence Technology

1995 .06

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Inductively Coupled Plasma 장치를 활용한 Ar, Ar/O₂ 방전에서 metastable 아르곤 특성 파악

김환호 ,  천청빈 ,  이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Chromium nitride coating by inductively coupled plasma-assisted RF magnetron sputtering

장호성 ,  김유성 ,  최대한 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

평판형 직사각 유도결합 플라즈마 표면 처리 시스템의 수치 모델링

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Investigation of copper-zinc thin film obtained by RF co-sputtering method

최아롬 ,  박주연 ,  강유진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effect of RF Bias on Plasma Parameters and Electron Energy Distribution in RF Biased Inductively Coupled Plasma

Hyo-Chang Lee ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

TCP(Transformer Coupled Plasma)를 이용한 RF Sputter Etch Chamber 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  김현수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Surface properties of Nb oxide thin films prepared by rf sputtering

박주연 ,  강용철

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Radio Frequency Inductively Coupled Plasma 를 이용한 High Ionization Sputtering 장치의 제작

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Characterization of Deposited PZT Thin Film by RF Magnetron Co-sputtering on Si(100) at various O₂ gas ratio

Sujin Choi ,  Juyun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11