Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by Sol - Gel process using AFM and XPS

추정우 ,  김영관 ,  손병청 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Preparation of ferroelectric SrBi₂Ta₂O9 thin films deposited by multi - target sputtering

Cheol-Hoon Yang ,  Soon-Gil Yoon

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 MFM 구조의 SrBi₂Ta₂O9 박막 특성에 관한 연구

이후용 ,  최훈상 ,  최인훈

Applied Science and Convergence Technology

2000 .05

반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술

김안순 ,  신채호

진공이야기

2016 .12

Characterization of In₂O₃ Films by AES and XPS

정재인 ,  문종호 ,  홍재화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

XPS study on Pb(Zr,Ti)0₃ thin films prepared by sputtering and MOCVD method

추정우 ,  김영관 ,  손병청

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Interactions of oxygen with Pd films on Ta : In-situ XPS study

Hyun Ook Seo ,  Kwang-Dae Kim ,  Wei Sheng Tai 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Oxygen Ion Beam Induced Abnormal Topographic Development at the Ta / Si Interface Studied by SIMS, XPS, and AFM

K. T. Kim ,  D. W. Moon ,  I. C. Jeon

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

RF-스퍼터링 기법으로 제작한 Fe₃O₄ 박막에 Ta 기저층이 미치는 효과

국지현 ,  이년종 ,  배유정 외 1명

한국자기학회지

2015 .04

XPS, FTIR, AFM 분석에 의한 유기박막특성

현일섭 ,  한세훈 ,  박현진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

XPS study of RuO₂ films deposited by reactive sputtering

김태형 ,  이종완 ,  김동천 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

A study on roughness of ITO films coated with a magnetron sputtering by AFM

김은도 ,  홍재화 ,  손영호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

r.f. 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 SrBi₂Ta₂O9 박막의 후열처리에 의한 배향 성장 및 강유전 특성

배철휘 ,  이전국 ,  이시형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Characterization of Deposited PZT Thin Film by RF Magnetron Co-sputtering on Si(100) at various O₂ gas ratio

Sujin Choi ,  Juyun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

in - situ XPS Characterization of cubic Boron Nitride Thin Films Grown by Dual Ion Beam Sputter Deposition

박기선 ,  이덕열 ,  김경중 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Effects of Ta addition in Co-sputtering Process for Ta-doped Indium Tin Oxide Thin Film Transistors

박시내 ,  손대호 ,  김대환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02