ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 ,  강현철

Applied Science and Convergence Technology

2009 .09

Ion Beam Sputtering 방법에 의한 Transparent electrode용 ZnO Film 연구

박용욱 ,  최성창 ,  윤석진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

대향타켓식 스퍼터법으로 증착된 ZnO / Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  성하윤 ,  손인환 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Annealing effects on the characteristics of Sputtered ZnO films for ZnO-based thin-film transistors

Yong Seob Pa ,  k ,  Han-Ki Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

The Low Temperature Synthesis of ZnO Thin Films by Facing Target Sputtering

송두훈 ,  김연준 ,  최윤석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Al-doped ZnO thin film process optimization on glass with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  최원국

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구

박성순 ,  임원택 ,  이창효

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Characteristics of sputtered ZnO thin films for active layer of TFT

Yong Seob Pa ,  k ,  Young Ryeol Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

X-Ray Absorption Spectroscopic Study of 120 MeV Ag⁹⁺ Ion-Irradiated N-Doped ZnO Thin Films

Sanjeev Gautam ,  Weon Cheol Lim ,  Hee Kyung Kang 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구

심은희 ,  이초은 ,  고지현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구

이초은 ,  심은희 ,  고지현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Structural Evolution of ZnO:Ga Thin Film on Profiled Substrate Grown by Radio Frequency Sputtering

J. H. Sun ,  J. H. Kim ,  B. G. Ahn 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Effect of Heat Treatment Method on Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Deok Kyu Kim

Applied Science and Convergence Technology

2017 .03

ZnO 박막과 유전체 박막으로 구성된 이중구조의 물성 및 표면 탄성파 특성

이용의 ,  김형준

한국결정학회지

1995 .01

ZnO Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  손인환 ,  이정석 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성

김덕규 ,  김홍배

Applied Science and Convergence Technology

2013 .01