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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
58 - 59 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

HFCVD 방법을 이용한 다이아몬드 박막 증착에서의 Bias 효과
권민철 ,  박홍준 ,  최병구 Applied Science and Convergence Technology 1998.05 학술저널

1997

DC Bias를 인가하여 HFCVD 방법으로 증착한 다이아몬드 박막의 특성
권민철 ,  안수연 ,  장지선 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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목차

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 결과 및 고찰

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