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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제2호
발행연도
1998.5
수록면
94 - 103 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

HFCVD 방법을 이용한 다이아몬드 박막 증착에서의 Bias 효과
권민철 ,  박홍준 ,  최병구 Applied Science and Convergence Technology 1998.05 학술저널

1997

DC Bias를 인가하여 HFCVD 방법으로 증착한 다이아몬드 박막의 특성
권민철 ,  안수연 ,  장지선 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

초록· 키워드

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HFCVD(Hot Filament Chemical Vapor Deposition)방법을 이용한 다이아몬드의 핵생성과 성장에 있어서, 인가한 직류 bias를 변수로 하여 핵생성 밀도와 증착율의 변화를 조사하였다. 반응압력 20torr, 메탄농도 1.0%, Filament 온도 2100℃ 그리고 Substrate 온도 980℃에서 증착 단계를 핵생성기와 성장기로 구분하고 각 단계마다 bias의 방향과 크기를 다르게 인가하면서 다이아몬드 박막을 증착하였다. Negative bias는 핵생성기에는 핵생성을 촉진시키지만 성장기에도 계속 인가하면 결정입자의 지속적인 성장을 방해하고 결정 구조를 비다이아몬드 성분으로 변화시키는 작용을 하여 박막의 morphology에 좋지 않은 영향을 주었다. Positive bias는 핵생성기와 성장기에서 모두 CH₄의 분해를 촉진시킨 결과 증착율의 향상을 가져왔다. 따라서 다이아몬드 박막의 증착시 핵생성기에서는 negative bias를 인가하고 성장기에서는 positive bias를 인가하는 것이 핵생성 밀도와 증착율의 향상에 효과적인 것으로 조사되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

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강민식 ,  이욱성 ,  백영준 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 .07

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