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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제1호
발행연도
1995.3
수록면
12 - 17 (6page)

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기계적, 광학적 특성 등에 있어서 우수한 특성을 갖는 다이아몬드성 탄소막이 고주파플라즈마 화학증착법으로 부터 합성되었다. 반응기체로는 메탄, 메탄-수소, 메탄-아르곤계가 사용되었다. 각 반응기체로 부터 합성된 다이아몬드성 탄소막의 적외선 투과성 및 조성이 조사되었다. 특히 게르마늄이 코팅된 실리콘 기판 위에 다이아몬드성 탄소막을 증착시킴으로써 적외선 영역에서의 무반사 코팅효과를 확인하였다. 폴리메타메틸아크릴레이트 및 폴리카보네이트와 같은 플라스틱 기판위에 다이아몬드성 탄소막을 증착하는 경우, 증착전 기판의 홈 및 증착도중 기판표면의 열변형이 다이아몬드성 탄소막의 균열원인으로 작용하는 것을 관찰하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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