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다이아몬드의 합성과 결정성장
한국결정학회 학술연구발표회
2001 .01
이온빔 증착법에 의한 다이아몬드상 카본필름의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
펄스 직류 전원 플라즈마를 이용한 갈륨비소와 갈륨알루미늄비소 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
내열금속 기판위에 다이아몬드 박막의 증착과 특성분석
한국결정학회지
1994 .01
원거리 플라즈마 화학증착법(RPECVD)에 의해 증착한 Carbon Nitride 박막의 구조적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
합성 다이아몬드의 국내 유통현황과 제조방법에 따른 특성 분석
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
MWPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
임피던스 트랜스포머에 의한 펄스 직류 전원 플라즈마의 전기 특성 변화 및 GaAs 식각에 대한 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
DLC Film의 열처리를 통한 나노다이아몬드 합성연구와 HFCVD 장치를 이용한 나노 다이아몬드 합성에 대한 연구의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
고출력 레이저로 증착한 유사다이아몬드 박막의 두께에 따른 물리적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
전도성 다이아몬드 생성 및 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
메탄, 메탄 - 수소 및 메탄 - 아르곤 플라즈마로 부터 합성된 다이아몬드성 탄소막
Applied Science and Convergence Technology
1995 .03
화학기상증착법을 이용한 h-BN의 성장과 그 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
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