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자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
건식 식각에 의한 고밀도의 정렬된 다이아몬드 바늘 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
자장 인가된 SF6계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유도결합형 플라즈마에 의한 PMN - PT(Pb(Mg₁/₃Nb₂/₃)O₃ - PbTiO₃) 박막의 건식식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 AlGaN 및 InGaN 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
SF6 유도결합형 플라즈마를 이용한 6H - SiC와 GaN의 식각 End - point 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용한 PZT 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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