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Pb(Mg₁/₃Nb₂/₃)O₃ - PbTiO₃ 박막의 성장 및 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RIE 에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Pt 박막의 반응성 이온식각
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
유도 결합형 플라즈마를 이용한 BCl₃/ Cl₂/ Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
자장 강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 TFT - LCD용 Al - Nd 박막의 식각 특성 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
CF4/Ar 유도결합플라즈마의 저 유전상수 SiCOH 박막 식각에 미치는 RF 파워의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
자장 인가된 SF6계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
유도 결합형 플라즈마를 이용한 AlGaN 및 InGaN 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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