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증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
MOSFET 구조내 HfO₂게이트절연막의 Nanoindentation을 통한 Nano-scale의 기계적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
범밀도함수론을 이용한 정방정계-HfO₂/Si의 계면 층 구조 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
W / TiN 금속 게이트 MOS소자의 물리ㆍ전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
게이트 유전체용 HfO₂박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Properties of HfSixOy/HfO₂ film as a various Annealing Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Al₂O₃/HfO/Al₂O₃ 터널장벽 WSi₂ 나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
Effects of N₂ Anneal on Electrical Properties of HfO₂ Film on Si Substrate
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
Influence of O₂ Anneal on the Electrical Properties of HfO₂ thin Film on Si Substrate
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
$HfO_2/Si$시스템의 계면산화막 및 고유전박막의 특성연구
한국결정학회 학술연구발표회
2002 .01
외부 전극 형광 램프의 전극 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Rf - magnetron 스퍼터링 법을 이용한 MOS 게이트용 HfO₂ / Hf - silicate 박막의 증착 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
용액 공정을 통한 HfO2/ZrO2 구조 차이에 따른 Dielectric layer의 특성 변화 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
질소 이온빔이 TiN 박막의 형성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
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