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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제21회 학술발표회초록집
발행연도
2001.7
수록면
68 - 69 (2page)

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2001

증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  남서은 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  김민주 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널
증착조건에 따른 ZrO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

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정순원 ,  박지현 ,  구경완 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 .04
ALD 방법으로 증착된 HfO₂/Hf 박막을 게이트 절연막으로 사용한 MOS 커패시터 제조
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사공현철 ,  이경택 ,  최길복 외 7명 대한전자공학회 학술대회 2009 .07
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  김민주 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001 .02

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