RF Magnetron Sputter법으로 성장된 Zn1 - xMnxO 박막의 Rapid Thermal Annealing 효과

이혜성; 이세준; 김화목; 강태원; 김득영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이혜성 이세준 김화목 강태원 김득영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.2

수록면: 157 - 158 (2page)

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