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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2001.11
- 수록면
- 66 - 73 (8page)
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The optical and electrical properties of high efficiency silicon solar cells have been characterized in detail. The double layer antireflection coating consisted of SiO₂/ZnS/MgF₂ is made on c-Si substrate for spectoscopic ellipsometry analysis. A film by film coating is accomplished and between each film deposition, ex-situ spectoscopic ellipsometry measurements are made. Two dielectric materials of ZnS, MgF₂ composite films were fabricated by codeposition from two independent sources. The double layer antireflection coating in these devices maintains low reflection losses over a broad band of wavelength attributed to differences in the thicknesses of the layers in volved. From the results of this experiment. We designed and fabricated double layer antireflection coating on the crystalline silicon substrate using the refractive index of the composite films.
목차
Abstract
1. 서론
2. Double Layer Antireflection Coatings
3. 실험방법
4. 결과 및 논의
5. 결론
감사의 글
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