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저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
건식 진공펌프의 소음특성에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
건식 진공펌프에서의 소비전력과 펌프의 특성들의 상관관계 비교실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
저진공 펌프(rotary, dry)의 배기속도 측정 및 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
저진공펌프의 저유량 영역에서의 배기속도 측정 시스템 구축
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(1)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(2)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
건식 진공펌프의 상태진단을 위한 PMS 프로그램 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
스크류 형 건식진공펌프 기술 현황 및 응용
Applied Science and Convergence Technology
2008 .07
반도체급 공정용 건식진공펌프 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
건식 진공펌프와 확산펌프에서의 오일 증기 역류 현상에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(3) : 구조해석 및 유동해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발(3 세부과제)
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요
Applied Science and Convergence Technology
2010 .07
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
공정용 건식 저 진공 펌프의 stator/rotor 교체에 따른 운전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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