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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
665 - 666 (2page)

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2006

탄성 힌지 타입 레버 메커니즘을 이용한 자동 초점 조절 미세구동장치에 대한 연구
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이재석 ,  홍석인 ,  김호상 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2006.01 학술대회자료

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In precision laser microfabrication, focusing is essential to acquire good machining precision and uniform machining quality. If it does not perform, laser machining cannot be realized. So, confocal scanning method with high depth resolution is used for focus detection technique. This paper is concerned with a procedure for design, analysis and performance test of an autofocus fine actuating stage, which is composed of flexure-hinge type lever mechanism and piezoelectric actuator ... 전체 초록 보기
#Autofocus(자동 초점 조절) #Flexure-hinge(탄성 힌지) #Lever mechanism(레버 메커니즘) #Piezoeletric actuator(압전 소자 구동기)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지 설계 및 해석
3. 스테이지의 제작 및 실험
4. 결론
후기
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