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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
86 - 91 (6page)

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The flexure-hinge mechanisms are commonly used in the design of translational micro/nano-positioning stage. This paper presents the methodology for design and control of a lever-type magnified flexure mechanism used for the ultra-precision fast tool servo (FTS) system. A lever type hinge mechanism is designed and utilized to guide the tool stage and to preload the PZT actuator. A prototype of the FTS system was developed and tested. The influence of tile PZT actuator's capacitance on the output voltage of the given amplifier was investigated. The motion range of the FTS system can reach 11.3㎛ and a bandwidth of 600㎐, and the amplification of the lever flexure mechanism is approximately 5 as calculated from the experiment.
#Fast tool servo #piezoelectric actuator #lever flexure mechanism

목차

Abstract
1. Introduction
2. FTS Electromechanical Design
3. Fabrication
4. Experimenting and discussions
5. Conclusions
References

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