정전기력을 이용한  유리 판넬의 비접촉 지지 및 반송

전종업

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전종업

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제3호

발행연도: 2006.3

수록면: 76 - 85 (10page)

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In the manufacture of liquid crystal display devices, there is a strong demand for contactless glass panel handling devices that can manipulate a glass panel without contaminating or damaging it. To fulfill this requirement, an electrostatic transportation device for glass panels is proposed. This device can directly drive a glass panel and simultaneously provide contactless suspension by electrostatic forces. To accomplish these two functions, a feedback control strategy and the operational principle of an electrostatic induction motor are utilized. The stator possesses electrodes which exert electrostatic forces on the glass panel and are divided into a part responsible for suspension and one for transportation. To accomplish dynamic stability and a relatively fast suspension initiation time, the structure of the electrode for suspension possesses many boundaries over which potential differences are formed. In this paper, an electrode pattern suitable for the suspension of glass panels is described, followed by the structure of the transportation device and its operational principle. Experimental results show that the glass panel has been transported with a speed of approximately 25.6 ㎜/s while being suspended stably at a gap length of 0.3 ㎜.

#Electrostatic forces(정전기력) #Electrostatic suspension(정전부상) #Transportation device(반송기구) #Glass panels(유리판넬)

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