정전기력에 의해 지지된 판상체의 비접촉반송에 관한 연구

정일진; 전종업

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정일진 전종업

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제12호

발행연도: 2005.12

수록면: 34 - 41 (8page)

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There is a strong demand for the contactless transportation device for a hard disk and silicon wafer without contaminating and damaging them. To fulfill this requirements, A transportation device for them has been proposed. But the device needs many of costly displacement sensors positioned along the transportation interval and possesses a very complicated controller and driving scheme. To overcome those kinds of drawback, in this paper, we present a very simple and cost-effective transportation device which only consists of a linear guide, very simple electrostatic suspension system and driving circuit of stepping motor. The principle of stable suspension by relay feedback control, derivation of lateral restoring force, the design of transportation system are described, followed by the experimental system. Experimental results show that a 3.5-inch hard disk has been transported with a speed of approximately 20㎜/s while being suspended stably at a gap of 0.25㎜.

#Electrostatic suspension(정전부상) #Hard disk(하드 디스크) #Relay control(릴레이제어) #Transportation device(반송장치) #Contactless support(비접촉지지)

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