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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.3
발행연도
2008.3
수록면
63 - 72 (10page)

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A new method for the electrostatic suspension of disk-shaped objects is proposed which is based on a time-optimal control scheme and deploys only high-voltage power supplies that can deliver de voltages of positive and/or negative polarity. This method possesses the unique feature that no high-voltage amplifiers are needed which leads to a remarkable system simplification and objects can be suspended stably even in vacuum environment. Using this scheme, an aluminium disk used in a 3.5-inch HDD was suspended stably at an airgap of 0.3㎜.
#Electrostatic suspension(정전부상) #Electrostatic force(정전기력) #Contactless support(비접촉지지) #Time optimal control(시간최적제어)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 정전부상계의 구성 및 제어방법
3. 자유도 부상계의 모델링 및 절환곡선의 설계
4. 시뮬레이션 및 결과
5. 실험장치
6. 실험결과 및 고찰
7. 결론
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