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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.6 No.4
발행연도
2005.10
수록면
49 - 54 (6page)

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In this paper, micro structuring technique using localized electrochemical deposition (LECD) with ultra short pulses was investigated. Electric field in electrochemical cell was localized near the tool tip end region by applying pulses of a few hundreds of nano second duration. Pt-Ir tip was used as a counter electrode and copper was deposited on the copper substrate in mixed electrolyte of 0.5 M CUSO₄ and 0.5 M H₂SO₄. The effectiveness of this technique was verified by comparison with ECD using DC voltage. The deposition characteristics such as size, shape, surface, and structural density according to applied voltage and pulse duration were investigated. The proper condition was selected based on the results of the various experiments. Micro columns less than 10 ㎛ in diameter were fabricated using this technique. The real 3D micro structures such as micro spring and micro pattern were made by the presented method.
#Electrochemical deposition #Ultra short pulses #Micro structuring #Micro column #Micro spring #Micro patterning

목차

1. Introduction
2. LECD using ultra short pulses
3. Experimental results
4. Micro structuring by LECD
5. Conclusions
REFERENCES

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
, 2000. , Electrochemical Methods: Fundamentals and Applications google schola , 1996. , Three-Dimensional Microfabrication by Localized Electrochemical Deposition 5 (1) : 24 ~ 32 google schola , 2000. , Localized Electrochemical Deposition of Copper Microstructures 147 (2) : 586 ~ 591 google schola , 2003. , Microfabrication by Localized Electrochemical Deposition: Experimental Investigation and Theoretical Modeling 14 : 523 ~ 531 google schola , 2002. , On the Effects of Ultrasonic Vibrations on Localized Electrochemical Deposition 12 : 271 ~ 279 google schola

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