초단펄스 응용 전해증착에 의한 마이크로 구조물 제작

박정우; 류시형; 주종남

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박정우 류시형 주종남

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제11호

발행연도: 2004.11

수록면: 186 - 194 (9page)

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In this research, micro fabrication technique using localized electrochemical deposition (LECD) with ultra short pulses is presented. Electric field is localized near the tool tip end region by applying a few hundreds of nano second pulses. Pt-Ir tip is used as a counter electrode and copper is deposited on the copper substrate in 0.5 M CuSO₄ and 0.5 M H₂SO₄ electrolyte. The effectiveness of this technique is verified by comparison with LECD using DC voltage. The deposition characteristics such as size, shape, surface, and structural density according to applied voltage and pulse duration are investigated. The proper condition is selected from the results of the experiments. Micro columns less than 10 ㎛ in diameter are fabricated using this technique. The real 3D micro structures such as micro pattern and micro spring can be fabricated by this method. It is suggested that presented method can be used as an easy and inexpensive method for fabrication of microstructure with complex shape.

#Electrochemical deposition(전해증착) #Ultra short pulses(초단펄스) #Micro fabrication(미세구조물제작) #Micro column(미세기둥) #Micro spring(미세스프링) #Micro patterning(미세패터닝)

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