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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,324 - 2,329 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

신뢰성을 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 특성평가
이승훈 ,  추성일 ,  김진혁 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료
수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가
이승훈 ,  추성일 ,  김진혁 외 2명 신뢰성응용연구 2007.03 학술저널

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The Probe Card is a test component which is to classify the good semiconductor chips before the packaging. The yield of semiconductor product can be better from analysis of probe test information. Recently the technology of the probe card needs narrow width and large amount of probe tip. In this research, the probe tip based on the MEMS(micro electro mechanical system) technology was designed and fabricated to improve the reliability of the test and to meet 2-dimensional Array of tip. The mechanical and electrical properties of proposed tip were evaluated and it has over 100,000 of repetition times in the condition of 5gf, 20um Over Drive.
#MEMS(멤스) #Probe card(프로브 카드) #Electro-plating(전기도금) #FEM(유한요소법) #Micro-spring(마이크로스프링) #Area array(2차원 배열)

목차

Abstract
1. 서론
2. 프로브 팁의 구조설계 및 제작[1]
3. 프로브 팁의 특성평가[6]
4. 결론
후기
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Bong-Hwan Kim ,  Sewan Pa ,  k 외 3명 ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications 2009 .07
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이근우 ,  김창교 제어로봇시스템학회 논문지 2008 .04
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