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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제11권 제4호
발행연도
2010.4
수록면
1,210 - 1,215 (6page)

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프로브 카드는 반도체 제조 공정 전에 반도체 소자 및 필름의 기능과 성능을 검사하기 위한 테스트 장비이 다. 반도체 산업의 급속한 기술 발전과 반도체 소자의 고집적화로 인하여 반도체 소자의 패드 간격과 패드의 수가 증가하고 있다. 따라서 반도체 소자의 크기 및 배열의 형태가 계속 축소됨에 따라 미세 피치를 갖고 검사용 핀의 수 가 많은 프로브 카드가 필요하다. 본 논문에서는 수직형 프로브 카드의 적용을 위하여 MEMS 기술을 이용한 프로브 팁을 개발하였다. 프로브 팁의 설계를 위해서 유한요소해석을 이용하여 프로브 팁의 구조 및 기계적 특성에 대한 구 조설계를 수행하였다. 또한 구조 설계를 적용한 프로브 팁을 제작하여 유한요소해석의 결과와 실제 시험을 통한 접 촉력의 평가를 수행하였다. 이에 따라 피치 간격이 약 50㎛이하의 프로브 카드를 제작하였다.
#Contact force #Finite Element Analysis #MEMS(Micro Electro Mechanical System) #Probe Card

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참고문헌 (8)

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1. [학술대회논문] - R.D.Bates / 1997 / The search for the universal probe card solution / ,International Test Conference, : 533 ~ 538 google schola 2. [학술대회논문] - N.Sporck / 1997 / A New Probe Card Technology Using Compliant Microsprings / ,International Test Conference, : 527 ~ 532 google schola 3. [학술대회논문] - D.Keezer / 1992 / Bare die testing and MCM probing techniques / ,Proc.IEEE MCM Conf, : 20 ~ google schola 4. [기타자료] - Lee, Y. H / / Probe Card / KR Patent : 10-1998- 0044757. google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 박종섭 / 2009 / 순수 휨하중을 받는 일축대칭 양단스텝보의 횡-비틀림 좌굴 강도 / 한국산학기술학회논문지 10 (5) : 1020 ~ 1025 dbpia

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