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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 고정입자패드
3. 제작되어진 고정입자패드의 특성
4. 실험 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
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친수성 고분자를 이용한 고정입자패드의 텅스텐 CMP
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2004 .07
사출금형제품의 표면향상에 관한 연구
한국표면공학회지
2002 .06
사출금형 제작을 위한 챔버 프리 레이저 폴리싱 기술
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2015 .04
사출금형의 냉각시스템 설계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
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대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
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한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .10
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소성·가공
2007 .12
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .06
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한국CDE학회 논문집
2000 .03
사출금형의 공정설계 전문가시스템의 개발 ( Development of Expert Process Planning System for Injection Mold )
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1992 .12
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대한기계학회 춘추학술대회
2010 .11
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소성·가공
2002 .12
고정입자 패드를 이용한 텅스텐 CMP에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
음향방출 신호를 이용한 연마패드의 변형 상태 감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
알루미나 고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
사출 금형 설계를 위한 엔지니어링 데이터베이스의 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .10
초정밀 자기연마 공정에 탄소나노튜브 입자의 적용에 관한 연구
한국생산제조학회지
2011 .06
자기연마가공에서 입자의 구속능력 평가에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
컨디셔닝 공정에 의한 연마 패드 형상 변화의 기구학 해석에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .06
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