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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.9
발행연도
2007.9
수록면
68 - 75 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

길이 표준 소급성을 갖는 원자간력 현미경을 이용한 2차원 격자 시편 측정과 불확도 평가
김종안 ,  김재완 ,  강주식 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.09 학술저널

2005

현미경의 길이표준 소급성 확립을 위한 배율 교정 시편 인증
김종안 ,  김재완 ,  박병천 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

초록· 키워드

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The pitch and orthogonality of two-dimensional(2D) gratings have been measured by using a metrological atomic force microscope(MAFM) and measurement uncertainty has been analyzed. Gratings are typical standard artifacts for the calibration of precision microscopes. Since the magnification and orthogonality in two perpendicular axes of microscopes can be calibrated simultaneously using 2D gratings, it is important to certify the pitch and orthogonality of 2D gratings accurately for nano-metrology using precision microscopes. In the measurement of 2D gratings, the MAFM can be used effectively for its nanometric resolution and uncertainty, but a new measurement scheme was required to overcome some limitations of current MAFM such as nonnegligible thermal drift and slow scan speed. Two kinds of 2D gratings, each with the nominal pitch of 3OO nm and 1000 nm, were measured using line scans for the pitch measurement of each direction. The expanded uncertainties(k=2) of measured pitch values were less than 0.2 nm and 0.4 nm for each specimen, and those of measured orthogonality were less than 0.09 degree and 0.05 degree respectively. The experimental results measured using the MAFM and optical diffractometer were coincident with each other within the expanded uncertainty of the MAFM. As a future work, we also proposed another scheme for the measurements of 2D gratings to increase the accuracy of calculated peak positions.
#Metrological atomic force microscope(길이 표준 소급성을 갖는 원자간력 현미경) #Nanometrology(나노메트롤로지) #2D grating(2차원 격차 시편) #Uncertainty analysis(불확도 해석)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 측정 방법
3. 측정 불확도
4. 측정 실험
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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